- phase mask
- опт. фазовая маска
The New English-Russian Dictionary of Radio-electronics. F.V Lisovsky . 2005.
phase mask
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Phase-shift mask — Phase shift masks are photomasks that take advantage of the interference generated by phase differences to improve image resolution in photolithography. There exist alternating [cite web|url = http://www.freepatentsonline.com/6977127.html | title … Wikipedia
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